盖世汽车讯 据外媒报道，德国弗劳恩霍夫光子微系统研究所（Fraunhofer IPMS）开发出光子微系统，可以使用可控的小镜子来调制光，从而产生独特的图像和结构。这些空间光调制器（SLM）是在半导体芯片上具有多达数百万个镜子的微镜阵列，可应用于半导体制造、显微镜和全息摄影等领域。

陶瓷封装的微镜阵列；512x320可单独寻址镜，像素尺寸为48μm。（图片来源：弗劳恩霍夫光子微系统研究所）

在实验室和1500平方米的洁净室中，该团队开发了一系列基于200 mm晶圆技术的特定用途空间光调制器。为了让每个微镜能够单独偏转，研究人员以高度集成的电子电路（ASIC）为基础来构建组件体系结构，再结合单片集成MEMS（微电子机械系统）技术，从而可以创建独特的微镜阵列。

此外，Fraunhofer IPMS还开发可以驱动该设备的电子器件和软件。为了促进技术应用，该研究所向客户提供评估工具包。除了微镜芯片本身，准备试用的设置还包括完整的电子控制器件（含软件在内）。

该Fraunhofer IPMS空间光调制器可用于深紫外微光刻、印刷电路板（PCB）制造、半导体检测和计量、自适应光学、天文学、全息和显微镜技术。该研究所已获得ISO 9001认证，从而验证其质量、技术和性能。

 Fraunhofer IPMS的高性能2轴倾斜镜

 Fraunhofer IPMS 的2轴倾斜镜模块；带有控制电子器件的 SLM 芯片。（图片来源：弗劳恩霍夫光子微系统研究所）

该研究所的突破性进展在于开发出集成互补金属氧化物半导体（CMOS）微镜阵列的技术平台，其中每个镜子都可以通过两个倾斜轴单独偏转。该设备由512x320个像素大小为48μm的可单独寻址镜组成，能够实现光束重定向，或产生和控制具有可变强度的2D强度剖面和图案。因为光被重新分配而不是被遮蔽，所以可能产生较高的光输出。

用于3D全息技术的活塞微镜阵列

真实3D投影应用示例：汽车抬头显示器（HUD）。（图片来源：弗劳恩霍夫光子微系统研究所）

Fraunhofer IPMS活塞微镜的全新应用领域是全息技术。与立体投影等替代方法相比，全息投影可以虚拟呈现物体，并提供与真实物体相同的3D体验。

未来，Fraunhofer IPMS微镜阵列将有助于实现计算机生成全息术，使真实世界和虚拟世界在运动中实时融合。目前，研究人员正在开发针对全息术优化的镜面矩阵，其第一个应用场景是汽车的抬头显示器（HUD）。

10月4-6日，在日本国际光电激光展览会（Photonix）上，Fraunhofer IPMS将展示其最新进展，如2轴倾斜镜演示器，并使用宏观模型来解释空间光调制器技术。